• 双管扩散炉

    详细信息

     加工定制:是  品牌:日新高温  型号:RGL  
     别名:双管扩散炉  适用范围:半导体材料的扩散和氧化工艺  炉膛*高温度:1050 ℃ 
     工作温度:1000 ℃ 装载量:订制 kg 工作室尺寸:订制 mm 
     外形尺寸:订制 mm   
    高温扩散炉应用领域:
    RGL系列高温扩散炉主要应用于半导体材料的扩散、氧化工艺
    RGL系列高温扩散炉也可应用于玻璃金属的封装焊接、石英制品的热处理、LED发光粉体材料的煅烧等工艺

    高温扩散炉的主要特点:
    RGL系列高温扩散炉采用高纯石英管作为内炉膛,具有良好的洁净度
    RGL系列高温扩散炉的耐火材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机能耗低,升温快
    RGL系列高温扩散炉的加热元件采用真空成型FEC陶瓷纤维加热器
    RGL系列高温扩散炉的温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,温度控制具有良好的稳定性、重复性。
    RGL系列高温扩散炉的技术指标:
    设备型号 RGL(D)-07/75/3 RGL(S)-09/60/6 RGL(D)-18/110/3 RGL(D)-25/110/6
    *高温度 1050℃ 1050℃ 1050℃ 1300℃
    使用温度 RT~1000℃ RT~1000℃ RT~1000℃ RT~1250℃
    控制精度 ±1.5℃ ±1.5℃ ±1.5℃ ±1.5℃
    温区个数 3个 6个 3个 6个
    加热区长度 750mm 600mm 1100mm 1000mm
    炉管材料 耐热钢管/石英管 石英管 石英管 刚玉管
    炉管尺寸 φ70x2200mm φ90x1800mm φ180x2100mm φ250x2100mm
    炉管数量 单管 双管 单管 单管
    发热元件 进口电阻丝 进口电阻丝 进口电阻丝 硅钼棒

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