| 加工定制:是 | | 品牌:日新高温 | | 型号:RGL | |
| 别名:双管扩散炉 | | 适用范围:半导体材料的扩散和氧化工艺 | | 炉膛*高温度:1050 ℃ | |
| 工作温度:1000 ℃ | | 装载量:订制 kg | | 工作室尺寸:订制 mm | |
| 外形尺寸:订制 mm | | | | | |
高温扩散炉应用领域:
RGL系列高温扩散炉主要应用于半导体材料的扩散、氧化工艺
RGL系列高温扩散炉也可应用于玻璃金属的封装焊接、石英制品的热处理、LED发光粉体材料的煅烧等工艺
高温扩散炉的主要特点:
RGL系列高温扩散炉采用高纯石英管作为内炉膛,具有良好的洁净度
RGL系列高温扩散炉的耐火材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机能耗低,升温快
RGL系列高温扩散炉的加热元件采用真空成型FEC陶瓷纤维加热器
RGL系列高温扩散炉的温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,温度控制具有良好的稳定性、重复性。
RGL系列高温扩散炉的技术指标:
设备型号 |
RGL(D)-07/75/3 |
RGL(S)-09/60/6 |
RGL(D)-18/110/3 |
RGL(D)-25/110/6 |
*高温度 |
1050℃ |
1050℃ |
1050℃ |
1300℃ |
使用温度 |
RT~1000℃ |
RT~1000℃ |
RT~1000℃ |
RT~1250℃ |
控制精度 |
±1.5℃ |
±1.5℃ |
±1.5℃ |
±1.5℃ |
温区个数 |
3个 |
6个 |
3个 |
6个 |
加热区长度 |
750mm |
600mm |
1100mm |
1000mm |
炉管材料 |
耐热钢管/石英管 |
石英管 |
石英管 |
刚玉管 |
炉管尺寸 |
φ70x2200mm |
φ90x1800mm |
φ180x2100mm |
φ250x2100mm |
炉管数量 |
单管 |
双管 |
单管 |
单管 |
发热元件 |
进口电阻丝 |
进口电阻丝 |
进口电阻丝 |
硅钼棒 |
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