-
详细信息
应用领域:
低温 真空气氛管式炉(管式炉 实验电炉)广泛适用于低温CVD工艺,例如:碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等;也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理。
主要特点:
低温真空气氛管式炉(管式炉 实验电炉)采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛。可拆卸式的三面密封方式,具有良好的洁净度和真空度;耐火,保温材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机质量轻、能耗低;低温真空气氛管式炉(管式炉 实验电炉)加热元件采用U型硅铝(碳)棒或原装进口电阻丝;本系列真空气氛管式炉(管式炉 实验电炉)温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,温度控制具有良好的稳定性、重复性。
技术指标:
设备型号
CVD(D)-06/60/3CVD(Z)-06/30/1CVD(G)-07/50/2CVD(G)-09/50/1***高温度
1050℃1300℃1650℃/1000℃1650℃使用温度
RT—1000℃850-1300℃1000-1600℃1000-1600℃控制精度
±1.5℃±1.5℃±1.5℃±1.5℃温区个数
3个1个2个1个加热区长度
600mm300mm500mm(300mm/200mm)500mm炉管尺寸
ф60(外径)×1400(mm)ф60(外径)×1000(mm)ф70(外径)×1450(mm)ф90(外径)×1450(mm)炉管材料
石英管刚玉管刚玉管刚玉管发热元件
进口电阻丝电阻丝/硅碳棒硅钼棒、电阻丝硅钼棒***大装机功率
4.5KW3kw/8kw10kw12kwCVD-□□□
选件功能
/□/□V真空系列:单级机械泵+扩散泵机组Q气氛系统:浮子流量计;进口/国产质量流量计备注:以上设备系统具备冷态极限真空6.67×10-2Pa接口条件;其他特殊工艺要求的订货时请说明。价格根据工艺要求不同价格不同。具体详细参数请参照合肥日新高温技术有限公司企业门户您可能还对下列产品感兴趣:
高温炉 管式炉 箱式炉 井式炉 电阻炉 碳管炉 热风循环炉 预氧化炉 热亚胺化炉 真空炉 气氛炉 推板炉 网带炉 隧道炉