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    应用领域:

           低温 真空气氛管式炉(管式炉  实验电炉)广泛适用于低温CVD工艺,例如:碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等;也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理。 

    主要特点:

          低温真空气氛管式炉管式炉  实验电炉采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛。可拆卸式的三面密封方式,具有良好的洁净度和真空度;耐火,保温材料全部采用先进的轻质纤维制品,整机质量轻、能耗低;低温真空气氛管式炉管式炉  实验电炉加热元件采用U型硅铝(碳)棒或原装进口电阻丝;本系列真空气氛管式炉管式炉  实验电炉温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,温度控制具有良好的稳定性、重复性。 

    技术指标: 

    设备型号

    CVD(D)-06/60/3
    CVD(Z)-06/30/1
    CVD(G)-07/50/2
    CVD(G)-09/50/1

    ***高温度

    1050℃
    1300℃
    1650℃/1000℃
    1650℃

    使用温度

    RT—1000℃
    850-1300℃
    1000-1600℃
    1000-1600℃

    控制精度

    ±1.5℃
    ±1.5℃
    ±1.5℃
    ±1.5℃

    温区个数

    3个
    1个
    2个
    1个

    加热区长度

    600mm
    300mm
    500mm(300mm/200mm)
    500mm

    炉管尺寸

    ф60(外径)×1400(mm)
    ф60(外径)×1000(mm)
    ф70(外径)×1450(mm)
    ф90(外径)×1450(mm)

    炉管材料

    石英管
    刚玉管
    刚玉管
    刚玉管

    发热元件

    进口电阻丝
    电阻丝/硅碳棒
    硅钼棒、电阻丝
    硅钼棒

    ***大装机功率

    4.5KW
    3kw/8kw
    10kw
    12kw

    CVD-□□□

    选件功能

    /□
    /□
     
    V
     
    真空系列:单级机械泵+扩散泵机组
     
    Q
    气氛系统:浮子流量计;进口/国产质量流量计
    备注:以上设备系统具备冷态极限真空6.67×10-2Pa接口条件;其他特殊工艺要求的订货时请说明。
    价格根据工艺要求不同价格不同。
    具体详细参数请参照合肥日新高温技术有限公司企业门户

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