低温真空气氛管式炉

低温真空气氛管式炉

详细信息

加工定制：是	品牌：日新高温	型号：CVD(D)-06/30/1
功率：12 kw	*大电压：380 V	额定温度：1650 ℃
主要用途：电子元器件、新型材料和粉体材料	产品认证：ISO9001	自动化程度：手动

应用领域：

低温真空气氛管式炉（管式炉实验电炉）广泛适用于低温CVD工艺，例如：碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等；也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理。

主要特点：

低温真空气氛管式炉（管式炉 实验电炉）采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛。可拆卸式的三面密封方式，具有良好的洁净度和真空度；耐火，保温材料全部采用先进的轻质纤维制品，整机质量轻、能耗低；低温真空气氛管式炉（管式炉 实验电炉）加热元件采用U型硅铝(碳)棒或原装进口电阻丝；本系列真空气氛管式炉（管式炉 实验电炉）温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制，温度控制具有良好的稳定性、重复性。

技术指标：

设备型号	CVD（D）-06/60/3		CVD（Z）-06/30/1	CVD（G）-07/50/2	CVD（G）-09/50/1
***高温度	1050℃		1300℃	1650℃/1000℃	1650℃
使用温度	RT—1000℃		850-1300℃	1000-1600℃	1000-1600℃
控制精度	±1.5℃		±1.5℃	±1.5℃	±1.5℃
温区个数	3个		1个	2个	1个
加热区长度	600mm		300mm	500mm(300mm/200mm)	500mm
炉管尺寸	ф60（外径）×1400（mm）		ф60（外径）×1000（mm）	ф70（外径）×1450（mm）	ф90（外径）×1450（mm）
炉管材料	石英管		刚玉管	刚玉管	刚玉管
发热元件	进口电阻丝		电阻丝/硅碳棒	硅钼棒、电阻丝	硅钼棒
*大装机功率**	4.5KW		3kw/8kw	10kw	12kw
CVD-□□□ 选件功能	/□	/□
	V		真空系列：单级机械泵+扩散泵机组
		Q	气氛系统：浮子流量计；进口/国产质量流量计
备注：以上设备系统具备冷态极限真空6.67×10-2Pa接口条件；其他特殊工艺要求的订货时请说明。价格根据工艺要求不同价格不同。具体详细参数请参照合肥日新高温技术有限公司企业门户

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